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关于本套机组而言,那末选用正常气路计划计划,在干泵粗抽时,气体要先通过两个构造简单、流阻大的分子泵才能排到大气,关于较大的屑细选用这种计划抽气时刻较长,是不可取的。咱们满足运用干泵不会对真空屑细构成油净化的利益,又运用1By6型干泵的大抽速功用,对原有气路增多了一套旁路(见图5),作业内中是:①打开阀门V1、V2,发起干泵P3,打开低真空计G2,抽除真空室及两个分子泵中的气体;②当低真空计G2的指示到达100Pa时,打开阀门V2,发起牵引分子泵P2,打开真空计G1;③待到达ATP100的发起压强后,打开涡轮分子泵P1。图5带旁路分子泵机组气路示意图泵间配总核算白文以N2为例持续合算,通过图5中带旁路计划的作业内中①②,依据图2(P2的抽速曲线),可合算较大排器量为Q=300Pa·L/s,又依据P2的较大出气口压力必定,可合算出P2需前级泵的抽速S干
